分析國內凈化工程潔凈建筑現(xiàn)狀 | |
發(fā)布時間:2013/9/5 內容編輯:金業(yè)裝飾 閱讀次數(shù):2145 | |
事實并非如此。雖然我們并不經(jīng)常聽到它,這主要是因為在美國,至少興建新的半導體晶圓廠已經(jīng)難得一見。而這是CCP應用最多的地方。 設備制造商為了支撐微電子產業(yè)而新建的潔凈室已經(jīng)越來越少,通常一些補充和修改的CCP表格會在那些地方應用。清潔建設技術沒有在美國大范圍地應用,主要是因為它根本就沒有用武之地。但它已經(jīng)被廣泛應用在海外的工業(yè)設施,特別是在一些非常大的為世界提供代工服務的晶圓廠。他們所致力發(fā)展的清潔建設技術通常比美國更為嚴格。 誰來提供服務? 如果CCP是必要的,而你又想將它應用到你的潔凈室項目中,你可以在哪獲取相關建議呢?答案是,所有具有大型潔凈室項目設計和施工經(jīng)驗的大工程建筑公司都能給你建議。即使他們開始時用于確定一個適當協(xié)議的辦法和引導規(guī)則略有不同,但過程的相似程度還是令人驚訝的。這是因為,多年來,他們都汲取了教訓,知道什么可行,什么不可行。不要對建筑師太苛求,我有很多朋友都從事建筑業(yè),但是許多建筑公司并不具有這方面的專業(yè)技術。他們常常依賴實驗室的設計顧問,設計顧問通常也不具備這方面專長,但是他們一般都知道怎么去獲取相關信息。 最后,還有一個專門的機構,叫特約顧問團。該機構的一些專業(yè)人士都曾有過重大項目的經(jīng)驗,由于微電子廠建設步伐的放緩,他們開始從事顧問工作。遺憾的是,并沒有足夠多的工作讓每個人都忙起來;他們中的一些人已經(jīng)退休了,要找到他們可不是一件容易的事情。例如,那曾經(jīng)興盛一時的、最大的、獨立提供這些服務的公司,現(xiàn)在已倒閉了。 我們可以從潔凈衛(wèi)生服務公司那里獲得一些執(zhí)行CCP的相關幫助,雖然得到的幫助并不是我們想象的那么多。這是因為當執(zhí)行一個建設項目時,一般都由潔凈衛(wèi)生分包公司負責潔凈衛(wèi)生方面事宜。這些公司的管理層看到了提供這些服務的機會,他們會提供一份預先準備好的適合該項目的恰當協(xié)議,并且他們能將這些服務做得很好。但也有少數(shù)例外,這在后面將會講到。對于大型制造業(yè)公司,尤其是在半導體產業(yè),他們經(jīng)歷過多個潔凈室項目,一般都具有這方面的專家。這些專家都知道這方面有那些要求,他們都有這方面的建設經(jīng)驗,而且他們也會制定相關的技術說明。然而,即使在這種情況下,他們還經(jīng)常依靠分包公司來履行這些工作,并頻繁的進行嚴格的培訓。 高純度管道的特殊案例 在安裝高純度管道時,無論是用于氣體還是液體,都需要特別的注意。因為單獨使用標準的空氣污染控制措施,無法有效保證該管道可以用于無污染流體。雖然大多數(shù)管道分包商都深諳如何安裝電解拋光不銹鋼,PVDF和用于氧氣輸送的潔凈銅管系統(tǒng),但總承包商和施工管理層往往并不了解這些技術。因此,他們通常會花錢請可以提供測試服務的第三方,來做高純度管道的質量控制,以保證純度。 潔凈室認證 最后一個接手潔凈室項目的專業(yè)承包商是認證機構。它必須是一家合格的專業(yè)機構,而且它的工作人員不僅要詳盡的了解所用到的精密的測試設備,還要有發(fā)現(xiàn)建設過程中常見錯誤的經(jīng)驗。如果該機構是第三承包商就更好了,它可以把驗證的結果直接報告給主辦方,而不是主承包商。這樣的話,就可以使很多暗箱操作問題得到妥善解決。認證方的作用就是確保結果值得信賴。從這方面來講,該機構的認證報告只有證實設施設計的正確性才能受到設計公司的歡迎;只有證明建設預期已經(jīng)被正確執(zhí)行,才能受到主承包商和所有分包商的歡迎;只有證實主辦方已經(jīng)得到了他們想得到的才能受到主辦方的歡迎。 為及時發(fā)現(xiàn)并糾正潔凈室空氣過濾系統(tǒng)的滲漏,認證機構必須不斷地對過濾器進行檢測。滲漏總是存在,這就意味著,為了能夠確保檢測到滲漏并修復它,必須在過濾器的上游側引入高濃度的粒子。由于CCP已經(jīng)成熟,而測試材料的選擇也已經(jīng)有了顯著改善,曾經(jīng)有人提議用周圍的空氣作為測試材料。他們認為過濾器上游的空氣已經(jīng)足夠臟,可以滿足粒子濃度達到數(shù)百萬粒子/立方英尺的要求。但潔凈建設項目已不再有這樣的問題了。傳統(tǒng)的測試材料鄰苯二甲酸二辛酯 (DOP)是一種極微細的氣溶膠霧狀物,效果非常好。但是,它有危險的負作用,因為它會在很多年里不停地釋放氣體。因此,它很少用于微電子設備,也絕不能用于那些有用到光敏感面材料的潔凈室。目前,過濾器的測試材料選擇的是聚苯乙烯膠乳(PSL),也是一種氣溶膠物,由微小的塑料顆粒組成,也可以作為校準顆粒計數(shù)器的材料。它不會像DOP那樣有不斷釋放氣體的危險。 |